無油活塞真空泵常見應(yīng)用領(lǐng)域： 1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
3、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
4、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
怎樣做好無油活塞真空泵的日常維護(hù)？
1、設(shè)備周圍環(huán)境應(yīng)保持清潔、干燥，通風(fēng)良好。檢查冷卻水路是否暢通。
2、檢查各潤滑部位的潤滑油是否符合規(guī)定。
3、操作人員必須嚴(yán)格按操作規(guī)程進(jìn)行操作，巡回檢查發(fā)現(xiàn)問題必須及時處理。
4、必要時可報告有關(guān)部門進(jìn)行狀態(tài)。
5、每班必須檢查各部緊固螺栓，不得有松動現(xiàn)象，經(jīng)常檢查真空罐中的液位是否正常有效，并進(jìn)行必要緊固。
6、隨時檢查真空表、電流表的讀數(shù)是否正常。隨時注意觀察設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)有無異常聲響或振動。
7、機(jī)殼外部清理，請在切斷電源的情況下，用干燥柔軟的抹布清理機(jī)殼外部的灰塵污垢，每月至少清理一次。
8、進(jìn)氣過濾消音器的清洗，過濾消聲器過濾棉的清洗很重要，它直接影響真空泵的流量和壽命，每月至少清洗一次，請將消聲器擰下，拆開消聲器端蓋，取出過濾棉，用清水沖洗干凈，涼干，再安裝好使用。如果不能清洗干凈，請更換過濾棉。
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